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科视达-复旦大学C-SAM联合实验室成立啦!

        由科视达(中国)有限公司携手复旦大学国家微分析中心和德国KSI科学仪器公司联合成立了超声波扫描显微镜(C-SAM)联合实验室,采用德国KSI科学仪器公司生产的Vario III型超声波扫描显微镜,配合复旦大学国家微分析中心的专业人员和其它相应设备,为国内半导体封装、材料、生物医学等行业提供专业的测试服务。

C-SAM联合实验室采用的Vario III型超声波扫描显微镜主要性能指标如下:

  • 声波频率范围:1~500MHz
  • 换能器频率选择:5~400MHZ
  • 扫描分辨率:0.1um
  • 扫描模式:A、B、C、D、X、G、3D
  • 最大扫描范围:300×300mm
  • 最小扫描范围:0.25×0.25mm
  • 样品槽尺寸:580×580×60mm
  • 最大图像像素:4096×4096像素
  • 最小门限时间:1ns


  • C-SAM的主要特性:
  • 非破坏性、无损伤检测内部结构
  • 可分层扫描、多层扫描
  • 实施、直观的图像及分析
  • 缺陷的测量及百分比的计算
  • 可显示材料内部的三维图像
  • 对人体是没有伤害的
  • 可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞、晶界边界等)


  • C-SAM的主要应用领域:
  • 半导体电子行业:半导体晶圆片、封装器件、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
  • 材料行业:复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等;
  • 生物医学:活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等;


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